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शुद्धिकरण दक्षता: 99.99% SF6 एकाग्रता
संसाधन क्षमता: 6-20 एनएम/एच (मॉडल-निर्भर)
छानने की सटीकता: 0.1μm कण, ≤3ppm नमी
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शुद्धिकरण दक्षता: 99.99% SF6 एकाग्रता
संसाधन क्षमता: 30-100 m g/h (मॉडल-निर्भर)
छानने की सटीकता: 0.1μm कण, ≤3ppm नमी
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